2024年沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司電子束蒸發(fā)設(shè)備招標(biāo)
招標(biāo)編號(hào)：XDZH-2024YBHW-24
公告發(fā)布時(shí)間：2024年8月20日
1.招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目為電子束蒸發(fā)設(shè)備采購項(xiàng)目，招標(biāo)人為沈陽儀表科學(xué)研究院有限公 司，資金來源為國(guó)企自籌資金。該項(xiàng)目己具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)電子束蒸發(fā)設(shè)備采購 項(xiàng)目進(jìn)行招標(biāo)。
2.項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1招標(biāo)內(nèi)容：電子束蒸發(fā)設(shè)備1套，利用電子束給材料加熱，使材料在高真 空下蒸發(fā)至基片表面，形成薄膜；最高限價(jià)220萬元。
2.2主要技術(shù)參數(shù)
2.2.1 1ift-off模式下，6時(shí)wafer一次可加工不少于9片；
2.2.2蒸發(fā)厚度均勻性：片內(nèi)5%以內(nèi)，片間5%以內(nèi)，批次3%以內(nèi)(去邊5mm測(cè)量）：
2.2.31ift-off和行星模式下的轉(zhuǎn)盤采用磁流體直驅(qū)方式，減少機(jī)械傳動(dòng)，增加設(shè)備穩(wěn)定性；
2.3交貨期：6個(gè)月內(nèi)。
2.4交貨地點(diǎn)：沈陽市渾南區(qū)渾南東路49-29號(hào)。
3.投標(biāo)人資格要求
**信息由招標(biāo)與采購網(wǎng)發(fā)布**此行內(nèi)容正式會(huì)員可見，請(qǐng)登錄中國(guó)招標(biāo)與采購網(wǎng)后查看**
3.2代理商或經(jīng)銷商參與投標(biāo)應(yīng)具有制造商授權(quán)；
3.3投標(biāo)人同類產(chǎn)品在客戶端無危險(xiǎn)事故記錄；
3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
4.招標(biāo)文件的獲取
4.1發(fā)售時(shí)間：2024年8月21日9：00時(shí)至2024年8月27日16:00時(shí)（北 京時(shí)間），節(jié)假日除外。
4.2招標(biāo)文件每套售價(jià)500元，售后不退。
4.3資格文件包括：投標(biāo)人獨(dú)立法人資格證明、法人代表證明、法定代表人簽署的 委托代理人授權(quán)書等。
5.投標(biāo)文件的遞交
5.1 投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間為2024_年9月12日14時(shí)30分。
5.2逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件， 招標(biāo)人將予以拒收。
友情提醒：報(bào)名前與下方聯(lián)系人索取投標(biāo)登記表，以及辦理后續(xù)事宜。
聯(lián)系人：李 工 
電 話：17610398736(微信同號(hào))
郵 箱：17610398736@163.com
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